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我們只討論激光器的光束質量因子M2對激光粒度儀的影響。納米粒度儀利用光束質量因子M2評價激光束的質量具有重要特點： ① M2因子表示實際光束偏離基模高斯光束(衍射極限)的程度； ② M2因子綜合描述了光束的質量，包括光束遠場和近場特性； ③ 光束通過理想光學系統后M2因子不變。

Siegman引入了一個無量綱的量納米粒度儀，光束質量因子參數，較科學合理地描述了激光光束質量，并被國際標準化組織1991年的ISO/TC172/SC9/WG1標準草案采納，激光光束質量因子的研究和測量也成為近幾年研究的熱點。光束質量是衡量激光光束優劣的一項重要指標。但是，較長時間以來，光束質量一直沒有確切的定義，也未建立標準的測量方法，這給科研和應用都帶來不便。常用來評價光束質量的方法有：原衍射極限倍數因子、斯特列爾比、環圍能量比、M2因子或其倒數K因子(光束傳輸因子)，各種光束質量的定義對應于不同的應用目的，所反映光束質量的側重點也不同。激光光束質量M2因子被國際光學界所公認并由國際標準化組織(ISO)予以推薦。M2因子克服了常用光束質量評價方法的局限，用M2因子作為評價標準對激光器系統進行質量監控及輔助設計等具有十分重要的意義。